當前，電子信息產業已經成為國民經濟的第一大支柱產業，在電子信息產業巨大需求推動下，我國集成電路產業迅速升溫，造就了半導體集成電路專用設備的龐大市場。作為集成電路制造基礎的支撐技術——集成電路生產設備迎來了良好的發展機遇。
    改革開放以來，我國IC產業越來越受到重視，國家制定并實施了“七五”、“八五”、“九五”、“十五”計劃并組織實施了“908”、 “909”IC重大工程，先后建起多條國有、中外合資、外商獨資IC生產線，這些生產線的興建和發展，使我國IC設備得以迅速發展。
目前我國半導體專用設備的生產研制單位共有 60多家，其中涉足集成電路生產設備的廠、所約有20～30家，自主研制的集成電路專用設備達到上百個品種。半導體設備業前道工序中的擴散爐、快速熱處理設備、清洗機、勻膠顯影設備和部分光刻設備等；后道工序中的測試探針、劃片機、印字機、引線框架成型機、塑封機、部分模具；材料制備中的單晶爐、切片機、研磨拋光機、部分凈化設備和試驗設備已經日趨成熟。
    在新品研發方面，中國電子科技集團第四十五研究所以8英寸硅片加工的自動切片機、自動劃片機、自動探針測試臺、6英寸雙面光刻機作為重點項目進行突破，并進行0.25mm及其更高分辨率光刻機研發和0.5 mm光刻機產業化推進，同時正在實施其后封裝設備產業化基地；中科院光電所開發的用于MEMS等領域的厚膠曝光機已形成系列產品，700廠也推出了平坦化MRIE設備、超凈工作臺、質量流量控制器等新產品，蘇凈集團的“九五”國家重點科技攻關項目“亞微米級集成電路生產微環境系統”通過了國家驗收，西北機器廠開發的6英寸勻膠顯影系統已在展覽會亮相，南光機器廠和北京儀器廠PVD和電子束蒸發方面也推出了新品，蘭新通信設備集團公司研制的6英寸硅片研磨機、拋光機和倒角機等新產品已投放市場，銅陵三佳公司研制的MGP塑封模，適應了集成電路的封裝要求，廣州愛斯佩克公司生產的高低溫測試設備近年來也取得了良好的業績。
    2001年我國的半導體設備銷售額為2億人民幣，國內市場占有率約為3%。據悉2002年國內半導體設備銷售額增長1倍以上，約5億元左右，國內市場占有率約5%，其中150毫米（6英寸）及其以下的半導體材料加工設備和后封裝設備是主要增長點。據設備工業協會預測，2003年國內半導體設備市場將增長40%以上。
    2000年以來，我國新建、在建和籌劃中的集成電路生產線有10多條，已經投入的建設資金大約是30億美元，預計還有30多億美元近期將陸續投入。這60億美元建設資金的投入意味著對集成電路專用設備的投資在40億美元以上。然而在2002年，國內半導體設備企業的全部銷售額僅為5億元。國內市場的占有率有限，已引起了政府有關部門和有識志士的關切，正在尋求發展國產專用設備產業和攻占國內市場主導地位的對策，共謀發展策略，發展民族產業。